发明名称 APPARATUS FOR FORMING FILM OF ELECTRONIC CIRCUIT SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPS63194389(A) 申请公布日期 1988.08.11
申请号 JP19870026931 申请日期 1987.02.07
申请人 DENSHI GIKEN:KK 发明人 HOSHIMI HIROSHI;NAKATSUBO HITOSHI;KIKUCHI HITOSHI
分类号 B05B13/02;H05K3/28 主分类号 B05B13/02
代理机构 代理人
主权项
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