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发明名称 CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION METHODS
摘要
申请公布号 EP0251764(A3) 申请公布日期 1988.08.17
申请号 EP19870305783 申请日期 1987.06.30
申请人 ULVAC CORP 发明人 KUSUMOTO, YOSHIRO;TAKAKUWA, KAZUO;IKUTA, TETSUYA;SUZUKI, AKITOSHI;NAKAYAMA, IZUMI
分类号 C23C16/04;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/48;(IPC1-7):H01L21/90;H01L21/285 主分类号 C23C16/04
代理机构 代理人
主权项
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