发明名称 |
A METHOD OF GROWING A THIN FILM SINGLE CRYSTALLINE SEMICONDUCTOR |
摘要 |
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申请公布号 |
GB2162862(B) |
申请公布日期 |
1988.10.19 |
申请号 |
GB19850018834 |
申请日期 |
1985.07.25 |
申请人 |
* RESEARCH DEVELOPMENT CORPORATION OF JAPAN;JUNICHI * NISHIZAWA;HITOSHI * ABE;SOUBEI * SUZUKI |
发明人 |
JUNICHI * NISHIZAWA;HITOSHI * ABE;SOUBEI * SUZUKI |
分类号 |
C23C16/44;C23C16/455;C30B25/02;C30B25/14;H01L21/20;H01L21/205;(IPC1-7):C23C16/30;C23C16/52 |
主分类号 |
C23C16/44 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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