发明名称 A METHOD OF GROWING A THIN FILM SINGLE CRYSTALLINE SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 GB2162862(B) 申请公布日期 1988.10.19
申请号 GB19850018834 申请日期 1985.07.25
申请人 * RESEARCH DEVELOPMENT CORPORATION OF JAPAN;JUNICHI * NISHIZAWA;HITOSHI * ABE;SOUBEI * SUZUKI 发明人 JUNICHI * NISHIZAWA;HITOSHI * ABE;SOUBEI * SUZUKI
分类号 C23C16/44;C23C16/455;C30B25/02;C30B25/14;H01L21/20;H01L21/205;(IPC1-7):C23C16/30;C23C16/52 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
主权项
地址