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发明名称
摘要
申请公布号	JPS63180933(U)	申请公布日期	1988.11.22
申请号	JP19870072671U	申请日期	1987.05.14
申请人		发明人
分类号	H01L21/82;H01L21/822;H01L21/8238;H01L27/04;H01L27/08;H01L27/092;(IPC1-7):H01L21/82	主分类号	H01L21/82
代理机构		代理人
主权项
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