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发明名称 VERFAHREN ZUM ZYKLISCHEN EVAKUIEREN EINER VAKUUMKAMMER
摘要
申请公布号 DD236967(B1) 申请公布日期 1989.03.08
申请号 DD19850276017 申请日期 1985.05.06
申请人 FORSCHUNGSINSTITUT MANFRED VON ARDENNE,DD 发明人 HECHT,HANS-CHRISTIAN,DD;BUEDKE,EKKEHARD,DD;ERBKAMM,WOLFGANG,DD;BEISTER,GUENTER,DD;KUEHN,GERHARD,DD;NEDON,WOLFGANG,DD;WEISE,HEIDEMARIE,DD
分类号 F04B37/14;(IPC1-7):F04B37/14 主分类号 F04B37/14
代理机构 代理人
主权项
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