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发明名称 VERFAHREN UND EINRICHTUNGEN ZUR GEOMETRISCHEN STABILISIERUNG DER VERTEILUNGSCHARAKTERISTIK DES DAMPFANGEBOTES EINER VERDAMPFUNGSQUELLE VON IM VAKUUM ABLAUFENDEN LASERVERDAMPFUNGSPROZESSEN
摘要
申请公布号 DD265648(A1) 申请公布日期 1989.03.08
申请号 DD19870308517 申请日期 1987.11.02
申请人 VEB HOCHVAKUUM DRESDEN,DD 发明人 WESER,FRANK,DD;EHRIG,KLAUS,DD;PARTUSCHKE,EGON,DD
分类号 C23C14/28;C23C14/56;(IPC1-7):C23C14/28 主分类号 C23C14/28
代理机构 代理人
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