发明名称 |
HEAT TREATMENT OF COMPOUND SEMICONDUCTOR SINGLE CRYSTAL |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS6472998(A) |
申请公布日期 |
1989.03.17 |
申请号 |
JP19870231504 |
申请日期 |
1987.09.14 |
申请人 |
NIPPON MINING CO LTD |
发明人 |
TAKAHASHI JUNZO;SATO KENJI;KAMEYAMA TAKEHIKO |
分类号 |
C30B33/00;C30B29/42;C30B33/02;H01L21/324 |
主分类号 |
C30B33/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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