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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER HALBLEITERANORDNUNG
摘要
申请公布号 DD266885(A1) 申请公布日期 1989.04.12
申请号 DD19860291980 申请日期 1986.07.01
申请人 VEB MIKROELEKTRONIK "KARL MARX" ERFURT,DD 发明人 CATTUS,GERHARD,DD;PETERSEIM,ERHARD,DD;FROEHLICH,MANFRED,DD
分类号 H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
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