发明名称 IDENTIFICATION OF SILICON WAFER BY USING IDENTIFICATION MARK
摘要
申请公布号 JPH01102917(A) 申请公布日期 1989.04.20
申请号 JP19870261174 申请日期 1987.10.16
申请人 MITSUBISHI METAL CORP;JAPAN SILICON CO LTD 发明人 IDEGUCHI SEIJI
分类号 H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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