| 发明名称 |
MATCHING OF PARTICLE TO BE DETECTED |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01126529(A) |
申请公布日期 |
1989.05.18 |
| 申请号 |
JP19880187954 |
申请日期 |
1988.07.27 |
| 申请人 |
TENKOOLE INSTR |
发明人 |
SOUHEIRU SAAAADAATO;JIRI PESEN;ARUMAAN PII NOIKAAMAN;JIYOOJI JIEI KUREN |
| 分类号 |
G01N21/88;G01N15/14;G01N21/94;G01N21/956;H01L21/66 |
主分类号 |
G01N21/88 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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