发明名称 METHOD OF REMOVING UNNECESSARY RESIST
摘要
申请公布号 JPH01194324(A) 申请公布日期 1989.08.04
申请号 JP19880017287 申请日期 1988.01.29
申请人 USHIO INC 发明人 GOTO MANABU
分类号 G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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