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经营范围
发明名称
CONTINUOUS THIN FILM-FORMING APPARATUS
摘要
申请公布号
JPH01195274(A)
申请公布日期
1989.08.07
申请号
JP19880017265
申请日期
1988.01.29
申请人
NIPPON STEEL CORP
发明人
YUI KATSUHIKO;FUKUTANI KAZUHIKO;KIKKO HIROYUKI
分类号
C23C14/56
主分类号
C23C14/56
代理机构
代理人
主权项
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