发明名称 CONTINUOUS THIN FILM-FORMING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH01195274(A) 申请公布日期 1989.08.07
申请号 JP19880017265 申请日期 1988.01.29
申请人 NIPPON STEEL CORP 发明人 YUI KATSUHIKO;FUKUTANI KAZUHIKO;KIKKO HIROYUKI
分类号 C23C14/56 主分类号 C23C14/56
代理机构 代理人
主权项
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