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发明名称 METHOD OF POLISHING MIRROR SURFACE OF SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号 JPH01200634(A) 申请公布日期 1989.08.11
申请号 JP19880024698 申请日期 1988.02.04
申请人 HITACHI CABLE LTD 发明人 TOYOSHIMA TOSHIYA
分类号 H01L21/304;H01L21/306 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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