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发明名称 MANUFACTURE OF COMPOUND SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01214161(A) 申请公布日期 1989.08.28
申请号 JP19880038511 申请日期 1988.02.23
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 NOGAMI TAKESHI
分类号 H01L21/28;H01L21/331;H01L21/336;H01L21/338;H01L29/205;H01L29/72;H01L29/73;H01L29/737;H01L29/78;H01L29/80;H01L29/812 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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