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发明名称 A METHOD FOR DEVICE PLANARIZATION IN THE MANUFACTURE OF SILICON ON INSULATOR INTEGRATED CIRCUITS
摘要
申请公布号 GB8917015(D0) 申请公布日期 1989.09.13
申请号 GB19890017015 申请日期 1989.07.25
申请人 PLESSEY COMPANY, PLC, THE 发明人
分类号 H01L21/3105;H01L29/786 主分类号 H01L21/3105
代理机构 代理人
主权项
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