发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH025526(A) 申请公布日期 1990.01.10
申请号 JP19880157248 申请日期 1988.06.24
申请人 SHARP CORP 发明人 KONDO MASAHARU
分类号 H01L21/76;H01L21/316 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
地址