发明名称 |
VESSEL AND APPARATUS FOR TREATING WAFERS WITH FLUIDS |
摘要 |
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申请公布号 |
GB2206733(B) |
申请公布日期 |
1990.01.10 |
申请号 |
GB19880019770 |
申请日期 |
1988.08.19 |
申请人 |
CHRISTOPHER FRANK * MCCONNELL |
发明人 |
CHRISTOPHER FRANK * MCCONNELL |
分类号 |
H01L21/306;B05C3/109;B08B3/10;B08B7/00;C23C16/54;C30B33/00;H01L21/00;H01L21/02;H01L21/302;H01L21/304;H01L21/67;H01L21/673;H01L21/677 |
主分类号 |
H01L21/306 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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