防振支持构造

摘要

为防止搁放制造半导体或印刷电路板之超精密制品之制造装置之装置搁放台引起振动之防振支持构造。在朝水平方向可移位地所吊挂之支持台上经由空气弹簧装设装置搁放台，而依据藉由振动测感器所检测之装置搁放台振动把线性马达动作控制将装置搁放台对固定台使其移位，以使装置搁放台不引起振动者。1988年６月６日在日本申请专利第63-140289号1988年６月６日在日本申请专利第63-140288号1988年６月６日在日本申请专利第63-140287号1988年６月６日在日本申请专利第63-140286号