发明名称 半导体装置之检验方法及系统
摘要 本发明是关于藉同时检验数个同型半导体装置之并连检验项目,若此项目检验通过则省略后续之半导体装置之该项检验,若不通过,才分别检验之半导体装置检验方法及系统。
申请公布号 TW129819 申请公布日期 1990.03.01
申请号 TW078103476 申请日期 1989.05.06
申请人 东京精密股份有限公司 发明人 堀江元
分类号 G01R31/02 主分类号 G01R31/02
代理机构 代理人 林敏生 台北巿南京东路二段一二五号七楼伟成第一大楼
主权项
地址 日本