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发明名称 VERFAHREN ZUR BESTIMMUNG DER BELICHTUNGSDOSIS FUER PHOTOLACKSCHICHTEN.
摘要
申请公布号 DE3668710(D1) 申请公布日期 1990.03.08
申请号 DE19863668710 申请日期 1986.09.23
申请人 N.V. PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN, EINDHOVEN, NL 发明人 VERVOORDELDONK, MARINUS C/O INT. OCTROOIBUREAU;LEERSCHOOL, ROLANDUS C/O INT. OCTROOIBUREAU, NL-5656 AA EINDHOVEN, NL
分类号 H01L21/027;G03C5/08;G03F7/20;H01L21/30;H01L21/66;(IPC1-7):G03F7/20 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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