REIBGETRIEBE FUER EINE SUBSTRATDREHEINRICHTUNG IN VAKUUMBESCHICHTUNGSANLAGEN,申请号DD19870302205-传众专利搜索

发明名称	REIBGETRIEBE FUER EINE SUBSTRATDREHEINRICHTUNG IN VAKUUMBESCHICHTUNGSANLAGEN
摘要
申请公布号	DD276902(A1)	申请公布日期	1990.03.14
申请号	DD19870302205	申请日期	1987.04.28
申请人	VEB HOCHVAKUUM DRESDEN,DD	发明人	LUHN,HANS,DD;THAMM,MICHAEL,DD;WILBERG,RUEDIGER,DD
分类号	C23C14/50;F16H13/14;(IPC1-7):F16H13/14	主分类号	C23C14/50
代理机构		代理人
主权项
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