| 发明名称 |
SAMPLING POSITIONING METHOD OF STROBOSCOPIC ELECTRON BEAM APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0280970(A) |
申请公布日期 |
1990.03.22 |
| 申请号 |
JP19880232908 |
申请日期 |
1988.09.17 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
ISHII TATSUYA;TADA TETSUO |
| 分类号 |
G01R19/00;G01R31/302;H01L21/66 |
主分类号 |
G01R19/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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