发明名称 METHOD FOR PULLING UP SINGLE CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPH02102196(A) 申请公布日期 1990.04.13
申请号 JP19880254962 申请日期 1988.10.12
申请人 FURUKAWA ELECTRIC CO LTD:THE 发明人 NISHIBE NATAMI;OZAWA SHOICHI;KIKUTA TOSHIO
分类号 C30B27/02;C30B29/42;H01L21/208 主分类号 C30B27/02
代理机构 代理人
主权项
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