发明名称 DRY ETCHING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02103931(A) 申请公布日期 1990.04.17
申请号 JP19880257509 申请日期 1988.10.13
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 FUJIKAWA KAZUNORI;KAMIYA SUSUMU;HORI KENICHIRO
分类号 H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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