发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES ORGANISCHEN HALBLEITERFILMS UND HALBLEITERVORRICHTUNG MIT EINEM SOLCHEN FILM
摘要
申请公布号 DE3936279(A1) 申请公布日期 1990.05.03
申请号 DE19893936279 申请日期 1989.10.31
申请人 MITSUBISHI DENKI K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 SUZUKI, SHOJI;SAEKI, HIDEO, ITAMI, HYOGO, JP
分类号 B05D1/20;C09K3/00;C30B7/00;C30B7/04;C30B29/54;G01J1/42;G01N27/12;G01N27/30;H01L29/78;H01L29/786;H01L29/86;H01L49/02;H01L51/00;H01L51/05;H01L51/30;H01L51/40;H01L51/42;H03K17/56 主分类号 B05D1/20
代理机构 代理人
主权项
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