发明名称 AUTOMATIC PROBER FOR IC WAFER TEST
摘要
申请公布号 JPH02152249(A) 申请公布日期 1990.06.12
申请号 JP19880306546 申请日期 1988.12.02
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 YAMASHITA NAOMI
分类号 G01R31/26;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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