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发明名称 Control of uniformity of growing alloy film
摘要
申请公布号 US4934313(A) 申请公布日期 1990.06.19
申请号 US19880208077 申请日期 1988.06.17
申请人 COMMONWEALTH OF AUSTRALIA 发明人 HARTLEY, RICHARD H.
分类号 H01L21/363;C23C14/54;C30B23/02 主分类号 H01L21/363
代理机构 代理人
主权项
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