ION SOURCE FOR SECONDARY ION MASS ANALIZING DEVICE,申请号JP19880313886-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	ION SOURCE FOR SECONDARY ION MASS ANALIZING DEVICE
摘要
申请公布号	JPH02160338(A)	申请公布日期	1990.06.20
申请号	JP19880313886	申请日期	1988.12.14
申请人	HITACHI LTD	发明人	SATO HIROSHI
分类号	H01J27/26;H01J49/16	主分类号	H01J27/26
代理机构		代理人
主权项
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