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发明名称 METHOD AND DEVICE FOR IONIC CLADDING DURING LAYERS SPUTTERING
摘要
申请公布号 CS8808659(A1) 申请公布日期 1990.07.12
申请号 CS19880008659 申请日期 1988.12.23
申请人 KADLEC STANISLAV RNDR.,CS;MUSIL JINDRICH ING. DRSC.,CS;MUNZ WOLF-DIETER DR.,DE 发明人 KADLEC STANISLAV RNDR.,CS;MUSIL JINDRICH ING. DRSC.,CS;MUNZ WOLF-DIETER DR.,DE
分类号 C23C14/34;(IPC1-7):C23C14/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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