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发明名称
INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号
JPH02232765(A)
申请公布日期
1990.09.14
申请号
JP19890052904
申请日期
1989.03.07
申请人
AGENCY OF IND SCIENCE & TECHNOL
发明人
NAKAYA MASAO;ANDO HIDEKI
分类号
H01L27/04;G06F17/16;H01L21/822
主分类号
H01L27/04
代理机构
代理人
主权项
地址
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