发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG DUENNER OXYDSCHICHTEN DURCH DIE PLASMA-UMSETZUNG METALLORGANISCHER VERBINDUNGEN
摘要
申请公布号 DE3918932(A1) 申请公布日期 1990.12.13
申请号 DE19893918932 申请日期 1989.06.08
申请人 SCHERING AG, 1000 BERLIN UND 4709 BERGKAMEN, DE 发明人 BALD, JOCHEN, DIPL.-CHEM., 7400 TUEBINGEN, DE;DEUTSCHMANN, LUTZ, DIPL.-CHEM., 7415 WANNWEIL, DE;FEURER, ERNST, DIPL.-CHEM. DR., 7400 TUEBINGEN, DE;HOLZSCHUH, HELGA, DIPL.-CHEM., 7414 LICHTENSTEIN, DE;OEHR, CHRISTIAN, DIPL.-CHEM. DR., 7403 REUSTEN, DE;MESSELHAEUSER, JOHANNES, DIPL.-CHEM. DR.;RAMIREZ, JAVIER;REICH, SILVIA, DIPL.-CHEM., 7400 TUEBINGEN, DE;WAIMER, BIRGIT, 7413 GOMARINGEN, DE;WEBER, ANDREAS, 7430 METZINGEN, DE;WENDEL, HELMUT;SUHR, HARALD, PROF.DIPL.-CHEM.DR.RER.NAT., 7400 TUEBINGEN, DE
分类号 C23C16/40;H01L21/316 主分类号 C23C16/40
代理机构 代理人
主权项
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