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发明名称 VAPOR GROWTH DEVICE AND METHOD THEREOF
摘要
申请公布号 JPH0322521(A) 申请公布日期 1991.01.30
申请号 JP19890157913 申请日期 1989.06.20
申请人 FUJITSU LTD 发明人 MIENO FUMITAKE;TSUKUNE ATSUHIRO;NAKAZAWA TSUTOMU;YAMAGUCHI AKIO
分类号 H01L21/205;H01L21/31 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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