发明名称 METHOD AND INSTRUMENT FOR MEASURING FILM THICKNESS
摘要
申请公布号 JPH0384401(A) 申请公布日期 1991.04.10
申请号 JP19890221253 申请日期 1989.08.28
申请人 ANELVA CORP 发明人 SAKURAI TAKEHIRO;MASHIRO KAZUHIKO
分类号 G01B11/06 主分类号 G01B11/06
代理机构 代理人
主权项
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