| 摘要 |
Un interféromètre de mesure des déplacements d'un composant mobile comprend un agencement interférométrique de mesure (1), dans lequel un faisceau partiel de rayons traverse une branche de mesure de longueur optique variable et est guidé par un système réflecteur (11) relié au composant mobile. L'agencement interférométrique de mesure (1) est agencé avec le système réflecteur ajustable (11), y compris toute la branche de mesure, dans un logement fermé (3), dans lequel est également agencé un dispositif (2) de mesure de la longueur d'onde qui permet de déterminer la longueur d'onde du faisceau partiel de rayons qui traverse un milieu gazeux dans la branche de mesure. Un ventilateur (14) crée un courant d'air dans le logement (3), de sorte que les mêmes conditions règnent dans la branche de mesure et dans le dispositif (2) de mesure de la longueur d'onde, spatialement séparé de la branche de mesure, notamment les mêmes température, pression et humidité. |
