| 摘要 |
Est décrit un procédé de mesure opto-électronique de déplacement et/ou d'angle. Sur la surface (12) d'un objet à mesurer (10) sont dirigés, sous des angles prédéfinis (alpha et beta), un premier et un deuxième rayonnement optique (13, 14 ou 61, 63) qui sont diffractés en un point d'incidence commun sur la surface (12). Dans une forme d'exécution, les deux rayonnements (13, 14 ou 61, 63) présentent une fréquence différente. Dans une autre forme d'exécution, la fréquence des deux rayonnements (13, 14 ou 61, 63) varie simultanément, et un des deux rayonnements (13, 61; 14, 63) présente une modulation de phase. La variation de phase, par rapport à un signal de référence, du signal délivré par le détecteur (18) est évaluée. |
