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发明名称 VERFAHREN ZUR DEFEKTPRUEFUNG AN MASKEN.
摘要
申请公布号 DE3678386(D1) 申请公布日期 1991.05.02
申请号 DE19863678386 申请日期 1986.09.18
申请人 SIEMENS AG, 8000 MUENCHEN, DE 发明人 DOEMENS, DR., GUENTER, W-8150 HOLZKIRCHEN, DE
分类号 G03B41/00;G03F1/00;(IPC1-7):G03B41/00 主分类号 G03B41/00
代理机构 代理人
主权项
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