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经营范围
发明名称
ETCHING DEPTH MEASURING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH03145149(A)
申请公布日期
1991.06.20
申请号
JP19890281748
申请日期
1989.10.31
申请人
TOSHIBA CORP
发明人
HOSAI HIROAKI;TSUMURA AKIRA
分类号
H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/66
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
地址
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