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发明名称 A METHOD OF CRYSTAL GROWING A SEMICONDUCTOR THIN FILM AND AN APPARATUS THEREFOR
摘要
申请公布号 EP0389718(A3) 申请公布日期 1991.08.07
申请号 EP19890312538 申请日期 1989.12.01
申请人 MITSUBISHI DENKI KABUSHIKI KAISHA 发明人 YAGI, TETSUYA MITSUBISHI DENKI K.K.
分类号 C30B25/02;C30B25/10;C30B25/14;H01L21/205;H01L21/263;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 C30B25/02
代理机构 代理人
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