发明名称 PRE-PROCESSING CIRCUIT IN SURFACE INSPECTING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH03199948(A) 申请公布日期 1991.08.30
申请号 JP19890336566 申请日期 1989.12.27
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 UNNO TETSUO
分类号 G01N21/88 主分类号 G01N21/88
代理机构 代理人
主权项
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