发明名称 METHOD OF REMOVING AREAS OF LAYERS FROM A SUBSTRATE
摘要
申请公布号 EP0427193(A3) 申请公布日期 1991.09.25
申请号 EP19900121199 申请日期 1990.11.06
申请人 NOKIA UNTERHALTUNGSELEKTRONIK (DEUTSCHLAND) GMBH 发明人 BARNABA, MARTIN;BROSIG, STEFAN, DR.;STOITZNER, MONIKA;THALER, HELMUT;WALDMANN, JUERGEN, DR.
分类号 G03F7/36;H05K3/06;(IPC1-7):G03F7/00;G02F1/133;G03F7/26 主分类号 G03F7/36
代理机构 代理人
主权项
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