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发明名称
METHOD OF REMOVING AREAS OF LAYERS FROM A SUBSTRATE
摘要
申请公布号
EP0427193(A3)
申请公布日期
1991.09.25
申请号
EP19900121199
申请日期
1990.11.06
申请人
NOKIA UNTERHALTUNGSELEKTRONIK (DEUTSCHLAND) GMBH
发明人
BARNABA, MARTIN;BROSIG, STEFAN, DR.;STOITZNER, MONIKA;THALER, HELMUT;WALDMANN, JUERGEN, DR.
分类号
G03F7/36;H05K3/06;(IPC1-7):G03F7/00;G02F1/133;G03F7/26
主分类号
G03F7/36
代理机构
代理人
主权项
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