发明名称 LASERWAFER AND METHOD OF PRODUCING SAME
摘要
申请公布号 EP0423513(A3) 申请公布日期 1991.10.30
申请号 EP19900118431 申请日期 1990.09.26
申请人 STANDARD ELEKTRIK LORENZ AKTIENGESELLSCHAFT;ALCATEL N.V. 发明人 DUETTING, KASPAR;WUENSTEL, KLAUS, DR.
分类号 H01S3/101;H01L33/00;H01L33/10;H01L33/20;H01S3/00;H01S3/06;H01S5/00;H01S5/026;H01S5/18;(IPC1-7):H01S3/085;H01S3/025 主分类号 H01S3/101
代理机构 代理人
主权项
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