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发明名称 OPTICAL SENSOR USING SUPERCONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH03276036(A) 申请公布日期 1991.12.06
申请号 JP19900077785 申请日期 1990.03.27
申请人 SEMICONDUCTOR ENERGY LAB CO LTD 发明人 TAKEMURA YASUHIKO
分类号 G01J1/02;H01L39/00 主分类号 G01J1/02
代理机构 代理人
主权项
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