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发明名称 INSPECTION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03270034(A) 申请公布日期 1991.12.02
申请号 JP19900069222 申请日期 1990.03.19
申请人 TOKYO ELECTRON LTD 发明人 NARISHIMA MASAKI;TANAKA KIYOSHI
分类号 G01R31/26;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
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