发明名称 VERFAHREN ZUR TEMPERIERUNG VON HALBLEITERBAUELEMENTEN
摘要
申请公布号 DD296581(A5) 申请公布日期 1991.12.05
申请号 DD19900342624 申请日期 1990.07.09
申请人 HALBLEITERWERK GMBH FRANKFURT (O),DE 发明人 BUECHNER,FRED,DE
分类号 F27B9/00;F27B9/40;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 F27B9/00
代理机构 代理人
主权项
地址