CONDENSATEUR EMPILE POUR CELLULE DRAM ET PROCEDE POUR SA FABRICATION.

摘要

Le condensateur empilé est un condensateur creux (ou cylindrique) dans lequel les deux extrémités de plusieurs couches de polysilicium qui forment une électrode de stockage (22) sont interconnectées. Dans sa réalisation, le condensateur empilé comprend: une première couche de polysilicium (19) couplée à la région de source (12) de façon à s'étendre parallèlement à la surface du substrat sur les côtés droit et gauche de la région de source; une couche de polysilicium en pont s'étendant vers le haut du substrat à partir des deux extrémités de la première couche de polysilicium, un film diélectrique (24) formé de façon à établir un contact avec les surfaces de la couche en pont (23), une première (19), une seconde (21) et une troisième couche de polysilicium formées de façon à établir un contact avec la surface du film diélectrique (24).