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发明名称 DRY ETCHING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH03290929(A) 申请公布日期 1991.12.20
申请号 JP19900092937 申请日期 1990.04.06
申请人 FUJITSU LTD 发明人 TOGASHI MITSUHIRO
分类号 C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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