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发明名称 PLASMA ETCH APPARATUS WITH CONDUCTIVE COATING ON INNER METAL SURFACES OF CHAMBER TO PROVIDE PROTECTION FROM CHEMICAL CORROSION
摘要
申请公布号 US5085727(A) 申请公布日期 1992.02.04
申请号 US19900526220 申请日期 1990.05.21
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 STEGER, ROBERT J.
分类号 C23F4/00;H01J37/32;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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