ARRANGEMENT FOR STORING, TRANSPORTING AND ENCLOSING SUBSTRATES

摘要

Il est décrit un agencement pour le stockage et le transport de substrats dans les conditions de salles blanches, ainsi que pour le transfert desdits substrats dans une salle blanche. Les substrats sont recueillis séparément dans des cassettes, lesquelles sont empilables par liaison de forme. Les cassettes sont positionnées au moyen d'un dispositif de levage devant une fente de chargement de la salle blanche. On ouvre un clapet de fermeture latéral de la cassette et on fait sortir le substrat sur un tiroir à substrat dans la fente de chargement.