发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON UNTERSCHNITTENEN STRUKTUREN
摘要
申请公布号 DD298699(A5) 申请公布日期 1992.03.05
申请号 DD19890332296 申请日期 1989.09.01
申请人 VEB FOTOCHEMISCHE WERKE BERLIN,DE 发明人 MENZ,IRINA,DE;BAUMBACH,WOLFGANG,DE;HAEHNEL,ELFRIEDE,DE;SIEBERT,WERNER,DE;BAEHR,GUENTER,DE;BRANDT,HANS,DE;HOFFMANN,DORIS,DE;KUNZ,EDELTRAUD,DE;STOLTZE,MARGOT,DE;HARTLEP,RAIK,DE;BARDEHLE,MICHAEL,DE;STENGEL,KLAUS,DE
分类号 G03F7/023;(IPC1-7):G03F7/023 主分类号 G03F7/023
代理机构 代理人
主权项
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