发明名称 METHOD AND DEVICE FOR OPTICAL EXCITATION DRY CLEANING
摘要
申请公布号 JPH0494123(A) 申请公布日期 1992.03.26
申请号 JP19900213324 申请日期 1990.08.09
申请人 FUJITSU LTD 发明人 SUGINO SHIGEYUKI
分类号 H01L21/302;H01L21/304;H01L21/306;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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